JB/T 10313-2002 量块长度的测量
发布时间:2012-05-12
作者:可立德商城
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A.1 量块长度光波干涉方式的直接测量法
A.1.1 干涉条纹小数部分重合方式的直接测量法
干涉条纹小数部分重合方式的直接测量法测量量块长度时,被测量块在20℃时对其标称长度的偏差D(单位为u m)由下式计算:
A.1.1.1 长度测量时,由于环境状态偏离标准状态应引入的修正量C,由下式计算:
A.1.1.2长度测量时,由于被测量块温度偏离20℃应引入的修正量C2由下式计算:
A.1.1.3长度测量时,由于和被测量块相研合的辅助面材料、表面质量与被测量块不同应引入的修正量C3。
用干涉条纹小数部分重合的方式以光波波长作为标准直接测量量块长度时,量块必须研合在辅助面上才能进行。只有当此辅助面的材料和表面质量完全相同于量块时,这项修正才可以忽略不计,否则应通过专门的试验来确定这项修正量的大小和其测量不确定度,这些都必须满足规定的要求。A.1.1.4由于干涉仪的进光隙缝不是位于光轴和准直透镜焦平面上严格的几何点光源而应引入的修正量C4。
对于进光隙缝呈矩形孔的干涉仪:
对于进光隙缝呈圆形孔的干涉仪:
A.1.1.5量块长度在测量状态下对其标称长度的偏差Co。
采用干涉条纹小数部分重合的方式,以光波波长做标准直接测量量块长度之前,要使用其他方法预测被测量块的长度,其不确定度将决定干涉条纹小数部分重合法所应选取光波波长的分布和光谱线的条数。在干涉仪上读取几条干涉条纹的小数并重合时即可得到Co。
A.1.2干涉条纹计数方式的直接测量
干涉条纹计数方式的直接测量法测量量块长度的时候,被测量块在20℃时对其标称长度的偏差D单位为微米(u m)由下式计算:
式中: