平行平晶

借助于平行平晶产生的干涉条纹图案可对测量表面的平行度进行检测
通过下述方法可确定所测量表面间的平行度：在测砧上夹紧平行平晶，从心轴方向观察在测力作用下产生的干涉条纹的数量。
下列图表平行平晶约为1um(0.32um x 3=0.96um)，测砧面上的干涉条纹不应超过一条。
有四种尺寸的平行平晶，心轴每转四分之一圈就可以进行测量。