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Laser Hologage(激光全息测微计)——0.00001mm分辨率型

品  牌:三丰/Mitutoyo

厂家货号:542-926*

订 货 号:24710

产品属性

测量范围(mm) 10
分辨率(mm) 0.01um
精度(um) 0.1
测力 0.1N/——/——
轴套直径 15mm
备注 低测力
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产品描述

支持自动化仪表及专用量具的配套使用

三丰公司的激光全息测微计是一种高端数显测量系统,采用衍射光束干涉,进行高精度和高重复精度测量。它具有超细衍射光栅,将全息影像记录在刻度尺上。

激光全息测微计适于测量精度极高的工件,特别适于半导体等行业使用。
特点

由于具有0.00001mm (0.01um)的极高分辨率适于进行高精度测量,其性能接近激光干涉仪。
具有极高的测量稳定性——高防护性设计,适于在恶劣的环境下工作,如温度和气压变化的环境。
心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承,移动非常滤波且延长了使用寿命。
带有显示装置。

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订货号 厂家货号 测量范围(mm) 市场价 促销价 购买
37239 538610 - - 询价
24709 542-925* 10 - - 询价
24710 542-926* 10 - - 询价
37243 971750 - - 询价
37240 971751 - - 询价
37241 971752 - - 询价
37242 971753 - - 询价

*为区分交流电源电缆.在货号后加上以下后缀:A适于UL/CSA、D适于CEE.DC适于CCC, E适于BS, K若于EK.无后缀适于JIS/1oov
**量具的方向(测力):心轴向下/水平/向上

技术参数

精度:    参见性能参数(不包括量化偏差)
分辨率:  0.01um
长度基准:激光全息测量传感器
最大反应速度:250mm/s
测针:    R5mm硬质合金
轴套:    Φ15mm
轴承类型:高精度线性滚珠轴承
测力:    参见性能参数
输出信号:90°相位差,差动方形波
信号司距:0.25um

标准附件
538610:  带扳手的测头
选件
971751:  用于在上表面固定的轴套固定装置
971752:  用于在下表面固定的轴套固定装置
971753:  心轴提升电缆
971750:  激光全息测微计支架


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