LSM-501S——高精度非接触测量系统

实现非接触，高速和高精度测量

超高测量精度，在全测量范围(0.05mm-10mm)内达±0.5um，窄测量范围内达±(0.3+0.1ΔD)um。
超高重复精度达±0.05um。
技术参数

测量范围：             0.05—10mm
分辨率：                0.00001一0.01mm可选
20℃时的直线度*：  宽范围：±0.5um
                            窄范围：±(0.3+0.1 ΔD)um
重复精度(±2σ):       ±0.04um
定位误差**：          ±0.5um
测量区域：             2×10mm(Φ0.05—Φ0.1mm)
                            4×10mm (Φ0.1一Φ10mm)
激光波长：             650nm，可见光
扫描速率：             3200 scans/s
激光扫描速度：       113 m/s
激光适用标准：       IEC，FDA (544-534)，JIS (544-533)
*在测量区域中心
**在测量区域中由于工件定位的变化造成可能的测量错误ΔD=校正规和工件的直径差