LSM-512S——高精度非接触测量系统

实现非接触，高速和高精度测量

多用途型，  测量范围从1mm - 20mm。
高测量精度，在全测量范围内达±6um。在窄测量范围内达±(4.0+0.5ΔD)um高测量精度。
高重复精度达±0.8um。

技术参数
测量范围：             1—120mm
分辨率：                0.0001一0.1mm可选
20℃时的直线度*：  宽范围：±0.6um
                            窄范围：±(4.0+0.5ΔD)um
重复精度(±2σ)：    ±0.8um
定位误差**：         ±8um
测量区域：             30x120mm
激光波长：             650nm，可见光
扫描速率：             3200 scans/s
激光扫描速度：       904m/s
激光适用标准：       IEC，FDA (544-540)，JIS (544-539)
*在测量区域中心
**在测量区域中由于工件定位的变化造成可能的测量错误ΔD=校正规和工件的直径差