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技术参数
有效测量范围: 10 - 1000mm
精度 (20ºC 时) :
10 - 300mm ±1μm
350 - 500mm ±2μm
500 - 1000mm ±3μm
输出波形: 两路90° 相移正弦波信号
两路90° 相移正交信号
光栅刻度间距: 40μm
信号输出间距: 40μm
分辨率: 0.2, 0.5, 1, 5μm
最大响应速度: 5000mm/sec
参考点间距:
10 - 75mm 中心点
100 - 1000mm 50mm
