超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置CS-5000CNC / CS-H5000CNC系列

技术参数:
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)
移动方向: 向前／向后
直线度: (0.1+0.0015L)μm、使用标准测针
           (0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针
直线度: (0.05+0.0003L)μm、使用标准测针
           (0.2+0.0015L)μm、使用二倍长型测针

           (CS-H5000CNC)
指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm
指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm(CS-H5000CNC)
L 为驱动长度(mm)
Z1 轴
测量范围: 12mm (标准测针)
24mm (二倍长型测针)
分辨率: 0.001μm (标准测针)
0.002μm (二倍长型测针)

测针上／下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm
指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm(CS-H5000CNC)
H 为测量高度(mm)
测力: 4mN (标准测针)
0.75mN (二倍长型测针)
跟踪角度: 向上60° 、 向下60°
(取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度： 40°、钻石
(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2 轴(立柱)
测量范围: 300mm (500mm：高立柱型)
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 最大200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸(W x D): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm
(800 x 620 x 1200mm：高立柱型)
重量: 240kg (250kg：高立柱型)

软件选件
FORMTRACEPAK
使用该软件可以控制马达驱动的Y 轴工作台和旋转台
选件，从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮
廓评估，这项评估包括对级差，角度，深度，面积和
其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外，还
可以通过设置打印格式建立原始检测证书，以适应不
同的需求。