阶差规系列

516系列

阶差减小的高度从NO．1到NO．5。
相邻阶差校准的分辨率为0.01um，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为+0.20um。
可选用钢制型或陶瓷型。
阶差规用于校准相邻高度的精度。