LSM-503S——高精度非接触测量系统系列

实现非接触，高速和高精度测量

多用途型，  测量范围从0.3mm - 30mm。
高测量精度，在全测量范围内达±1.0um。在窄测量范围内达±(0.6+0.1ΔD)um高测量精度。
高重复精度达±0.1um。

技术参数
测量范围：             0.3—30mm
分辨率：                0.00002一0.1mm可选
20℃时的直线度*：  宽范围：±1.0um
                            窄范围：±(0.6+0.1ΔD)um
重复精度(±2σ)：     ±0.11um
定位误差**：         ±1.5um
测量区域：             10x30mm
激光波长：             650nm，可见光
扫描速率：             3200 scans/s
激光扫描速度：       226m/s
激光适用标准：       IEC，FDA (544-536)，JIS (544-535)
*在测量区域中心
**在测量区域中由于工件定位的变化造成可能的测量错误ΔD=校正规和工件的直径差