VMU 378 系列 — 视像显微镜系统系列

VMU 是一种袖珍、轻型和易于安装的显微镜装置，通常在半导体制造中用于CCD 相机监视。

特点
其光学系统的特点是具有超长工作距离物镜，具有对大范围辐射波长的校正功能。

光纤反射照明可使工件免于受热膨胀影响。需要光纤照明器作为光源。

可供使用的还有激光支架或转塔(物镜安装)。