JB/T 10014-1999 数显电感测微仪

1范围
本标准规定了数显电感测微仪的型式、名称、技术要求、标志与包装等。

本标准适用于分辨率为0.01un、0.1 um、1um的数显电感测微仪（以下简称测微仪）。

2定义
本标准采用下列定义。

2.1数显电感测微仪
它是一种由电感式传感器将被测尺寸的变化转换为电信号，并用数字显示出被测尺寸的比较测量仪器。

3型式、名称
测微仪由数字显示器和传感器组成，其型式、主要部分名称及装夹尺寸见图1和图2（图示型式仅供参考）。

4技术要求
4.1外观
表面不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷。各种标志、数字、刻线应正确、清晰。

4.2相互作用
各紧固部分牢固可靠；各转动部分应灵活，不应有卡滞和松动现象。

4.3绝缘与耐压
当电压为500V时，电源插座的一个接线端与机壳之间的绝缘电阻应大于SMQ;交流电压为1000V时耐压试验Imin，数字显示器不应有击穿现象。

4.4调零范围
调零范围应大于20um。

4.5零位平衡
零位平衡应在士2个字范围内。

4.6示值变动性
示值变动性应不大于0.04um。

4.7方向误差
方向误差应不大于0.08um。

4.8回程误差
回程误差应不大于0.06um。

4.9示值误差
各档测量范围内的示值误差应不超过式(1)的规定：

4.10稳定度
在规定工作条件内，测微仪示值随时间变化的稳定度应不大于表1的规定。

4.11  电压变动对示值的影响
在o.o1Um档位上，电源频率为50Hz，电压在额定值的90%～110%范围内变化时，引起的示值变化量应在0.02um之内。

4.12灵敏阈
在0.01um档位上，灵敏闭应为0.01um。

4.13测量力
测量力应在设计规定值的80%～120%范围内。

4.14材料、硬度和表面粗糙度
测头应选用具有良好耐磨性的材料，其测量面的表面硬度应不低于766HV，表面粗糙度为Ra0.04um。