规定的环境条件下进行试验。
6.2外观、相互作用和相互位置
用目测和手感的方法进行检查。
6.3放大器的转换误差
以1000倍和5000倍为例,放大倍数置于“10000”档,取下匹配器(或限制传感器测头移动),调整输出调整旋钮,使对心表指针与表盘左刻线重合,记录第一圈图像;再将放大倍数置于“5000”档,记录第二圈图像;将放大倍数置回到“10000”档,旋转输出调整旋钮使对心表指针与右边刻线重合,
记录第三圈图像;再将放大倍数置于“5000”档记录第四圈图像。求得第一、三图像之间和第二、四图像之间的径向距离之比,即可按式(1)求得该相邻档之间放大倍数的转换误差:
用同样方法检验其他各相邻档的转换误差。任意档相对定标档的转换误差为该任意档到定标档之间的各相邻档转换误差的代数和。
6.4定标误差
仪器装上短测杆,滤波器置于“1—500”档,仪器放大率置于“2000”档。然后可用动态或静态方法来检验仪器放大率。
动态法:
将10um左右的定标块与仪器的基准轴线精确对心后,在记录范围的中间位置上记录其记录轮廓,并读取其测得值。
静态法:
用微进给装置或量块在测量方向上给传感器测头约10um的进给量,在记录范围的中间位置上分别记录进给前、后的图像,它们之间的间距为测得值。定标误差按式(2)计算:式中:
实际值——定标块的标定值、微进给装置或量块的实际进给值。
6.5测量系统示值误差
仪器装上短测杆,滤波器置于“1~500”档,用动态法或静态法检验示值误差。
动态法:
在仪器放大率各档分别测量标定值相当于该档记录纸上20mm量值的定标块,并在记录范围的中间位置记录其记录轮廓。测得值与标定值之差为误差值。
注:用动态法检验10000倍和10000倍以上的示值误差时,允许所测得的仪器测量系统示值误差比表2规定的下限值再小测得值的1%。
静态法:
在仪器放大率各档分别用微进给传感测头相当于该档记录纸上20mm量值的进给量,并在进给前、后分别在记录范围中间位置上记录图像。两图像径向间距与进给量之差为误差值。
6.6测量系统的灵敏阈
将仪器放大率置于仪器正常使用的最高档,用灵敏阈不大于仪器灵敏阈二分之一的微进给装置,给予传感器短测杆大于0.1 um的位移量,然后记录图像,并同时在相同进给方向上继续给出表2所规定的灵敏阈的进给量,则记录图像在相应位置上必须有目力可见的径向位移。