1范围
本标准规定了光栅线位移测量系统(以下简称测量系统)的基本参数、技术要求和试验方法。
本标准适用于分辨率0.1~10um的测量系统。
2引用标准
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB 191-1990 包装储运图示标志
GB/T 6388-1981 运输包装收发标志
GB/T 6587.2-1986 电子测量仪器温度试验
GB/T 6587.3-1986 电子测量仪器湿度试验
JB/T 6214-1992 仪器仪表可靠性验证试验及测定试验(指数分布)导则
3定义
本标准采用下列定义。
3.1 光栅线位移测量系统
利用光栅副产生光信号的原理,由光栅线位移传感器感受线位移量,并用光栅数显表显示其值的长度测量单元。
3.2测量系统分辨率
测量系统显示的最小长度计数单位。
3.3测量系统细分误差
光栅栅距内莫尔条纹原始信号经测量系统分割或倍频后,分割间距之间的最大误差。
3.4误差峰一峰值
测量系统误差曲线上最高点与最低点之差。
4基本参数
基本参数按表1规定。
5技术要求
5.1工作条件
5.1.1测量系统工作环境温度范围应为0~45℃,相对湿度应不大于90%。
5.1.2 测量系统使用的电源频率应为50Hz,额定电压为220V,电压波动范围为额定电压值的85%~110%。
5.2外观及相互作用
5.2.1测量系统玻璃表面不应有气泡、龟裂,金属表面不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷,各种标志、数字应正确、清晰。
5.2.2各紧固部分应牢固可靠,各运动部分应灵活平稳,无阻滞和松动现象。
5.2.3测量系统有效量程的显示应符合规定值,参考零位的显示、清零、置数、辨向等功能均应正常。
5.3准确度
测量系统准确度分为六个等级,每个等级的误差峰一峰值A按表2的公式计算,准确度用数值A的二分之一冠以“±”号表示。
5.4细分误差、示值变动性和回程误差
测量系统细分误差、示值变动性和回程误差应不大于表3的规定。