JB/T 10027-2010 测量面平面度或直线度的检查方法
原则上,技术书籍中记载的各种检测方法在保证测量不确定度要求的条件下,都适用于方形角尺测量面平面度的检验。但检测方法的不同会给最终检测结果带来一定的差异。这种差异在制造方与购买方达成一致意见的基础上是可以接受的。然而,本附录根据方形角尺的材料和准确度要求的不同,确定并
规范了具有代表性的检测方法,并在有争议时,以此规范作为最终仲裁的依据。
方形角尺测量面平面度或直线度误差的检验,按制造材料的不同及准确度要求的不同,分如下两种检查方法:
A.1 平面度或直线度公差要求小于或等于2.0 um的金属材料制造的方形角尺。
用平面平晶以光波干涉法检验,采用直径100 mm以上的1级平面平晶进行检测,选用平面平晶的规格应保证沿被检测量面的检查方向长度是所选平面平晶半径的整数倍,将平面平晶放置在被检测量面上,使之出现的光波干涉带平行于被检测量面的检查方向,根据干涉带(环)的弯曲程度和方向确定每
一被检局部面的平面度误差,其大小由公式(1)、公式(2)计算:
检查被检测量面长边方向上的平面度误差时,可采用分段检查法,以1/2平晶直径为跨距,沿被检测量面的长边方向等跨距地移动平面平晶,求得方形角尺各段被检局部面的平面度误差值,按GB/T11336、GB/T 11337中的规定进行数据处理,用最小包容区域法评定得到被检测量面沿长边方向上的平面度误差。
检查被检测量面短边方向上的平面度误差时,可选取被检测量面长边全长范围内的始、中、末三个位置用平面平晶进行检查,当平面平晶的面积足够大时,采用整段检查法,此时应将平面平晶调整至在被检区域内出现3~5条清晰的干涉条纹,然后,根据干涉条纹数及其弯曲量和条纹间距按公式(1)、公式(2)计算局部平面度误差。取三处检查结果中的最大值作为被检测量面短边方向上的平面度误差值。
被检测量面长边方向、短边方向的平面度均应呈凹状,取两个方向上平面度误差的最大值作为被检测量面的平面度误差值。
A.2岩石材料制造的方形角尺及平面度或直线度公差要求大于2.0 um的金属材料制造的方形角尺。
此种检查方法,是通过检定方形角尺被检测量面的直线度来判定其平面度误差的。
检查被检测量面长边方向上的直线度误差时,采用跨距法,以电子水平仪(分度值不大于0.001 mm/m)或自准直仪(分度值不大于0.2”)等做为测量设备,检查时,将被检方形角尺的受检测量面大致调水平(对自然水平面的倾斜角不应大于10,),然后根据受检测量面长边尺寸确定布点分段数及桥板跨距,并应满足公式(3)要求:
将电子水平仪或自准直仪的反射镜固定在桥板上,将桥板放在被检方形角尺的受检面上按跨距前后相接地从一端移至另一端,每移动一个跨距从仪器上读取该位置读数,测出被检测量面上相邻两点连线相对测量基线的倾斜角,按GB/T 113 36中的规定进行数据处理,用最小包容区域法评定得到被检测量
面长边方向上的直线度误差值。
检查被检测量面短边方向上的直线度误差时,可用刀口尺(长度小于100 mm)以光隙法检查,检查时,选取被检测量面长边全长范围内的始、中、末三个位置进行检查,所有受检位置的光隙均应在测量长度的中间部位,将测得的光隙与标准光隙比较得到检查结果,取三处检查结果中的最大值作为被检测量面短边方向上的直线度误差值。
被检测量面长边方向、短边方向的直线度均应呈凹状,取两个方向上直线度误差的最大值作为被检测量面的直线度误差值。
A.3对于小规格的方形角尺,可将方形角尺置于检验平板上(要求平板工作面在检验工作区域内的平面度误差小于被检方形角尺被检测量面平面度误差允许值的1/3~1/5),用电感测微仪以打表法按删格布点进行检测(检定点的布置应满足:①在被检测量面边缘5 mm处具有检点;②被检测量面中间的检点按间隔20 mm~25 mm呈栅格状均匀布置;③遇被检测量面有空刀处可避开不检),按GB/T 113 36、GB/T 11337中的规定进行数据处理后,用最小包容区域法评定得到被检测量面的平面度误差值或直线度误差值(如有争议按A.1、A.2方法裁决)。
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