JB/T 5610-2006 激光干涉仪

1  范围
本标准规定了激光干涉仪的基本参数、技术要求和试验方法等。
本标准适用于几何量测量的激光干涉仪。

2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GB/T 191  包装储运图示标志(eqv IS0 780:   1997)
GB/T 6388运输包装收发货标志
GB/T 17163-1997几何量测量器具术语基本术语(neq BS 5233：1986)
GB/T 17626.2-1998  电磁兼容  试验和测量技术  静电放电抗扰度试验(idt IEC 61000-4-2:1995)
GB/T 17626.3-1998  电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验(idt IEC 61000-4-3: 1995)

3术语和定义
GB/T 17163-1997中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。

3.1
激光干涉仪  laser interferometer
利用稳频氦氖激光器，以激光波长为基准，按迈克尔逊原理产生干涉条纹进行几何量测量的测量仪器。激光干涉仪由激光头、干涉镜、反射镜和显示器等组成。

3.2
最大测量速度  measurement speed
保证激光干涉仪正常工作的测量反射器最大移动速度。

3.3
激光波长准确度  accuracy oflaser wavelength
激光波长与给定波长的相对变化量。

4要求
4.1  基本参数：
干涉仪的基本参数见表1。

4.2外观及相互作用：
4.2.1  激光干涉仪光学件表面不应有霉、雾及影响使用的气泡、麻点、划痕等疵病，各工作表面不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷。各种标志、数字清晰、正确。

4.2.2各紧固部件应牢固可靠，无松动现象，各运动部件应灵活平稳，无卡滞。

4.2.3电箱、计算机的清零、置数、显示和打印等功能应正常。

4.3激光干涉仪工作前的预热时间应不超过20min。

4.4激光干涉仪单次开机激光频率稳定时间应不少于8h。

4.5激光干涉仪准确度由以下公式计算得出：

4.6激光器寿命应不低于20000h。

4.7激光干涉仪应具有一定的电磁兼容能力，受电磁干扰时，激光干涉仪应能正常工作。

5检验
下述的检验方法不是唯一的，如有其他不大于本标准规定的测量不确定度的方法，也可采用。

5.1检验条件
5.1.1  检验场地应无影响检验精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场。

5.1.2激光干涉仪检验时的环境温度为(20±1)℃，其变化应不大于0.5℃／h。

5.1.3激光干涉仪、检验设备及仪器应在同等温度条件下等温4h。

5.1.4进行准确度检测时，其环境条件还应满足：温度不确定度应不大于0.2。C，大气压力不确定度应不大于60Pa．湿度不确定度应不大于100Pa。

5.2  外观及相互作用
目力观察及手感检验。

5.3激光干涉仪预热时间
用计时器记录干涉仪电箱电源开启至激光干涉仪开始正常工作的时间。

5.4单次开机激光频率稳定时间
将长度光学组件固定，待激光干涉仪预热完毕，即刻观察显示器的计数变化，并用计时器记录计数变化不大于1um的持续时间。

5.5激光干涉仪准确度
5.5.1  进行比对检测，激光干涉仪检测系统的不确定度应小于被检激光干涉仪的准确度（按照4.5的公式计算）；取连续三次比对偏差的平均值为一组测量结果，重复5组~10组，取各组测量结果的平均值±2δ作为激光干涉仪准确度。

5.5.2  比对检测至少应在量程范围内三个不同长度进行，最大比对长度应不小于Im；推荐比对长度为250mm、500mm、1000mm。
5.6量程