JB/T 10313-2002 量块检验方法
6.3检验方法
6.3.1量块长度检验时,选择计量器具及方法的原则是,其测量不确定度,应不超过表2的规定。
6.3.2 K级和0级量块的长度,应尽可能采用光干涉方法直接测量,这种测量可以使用干涉条纹小数部分重合法和干涉条纹计数法式的直接测量干涉仪。干涉测量所用的光波波长必须能溯源到国际计量委员会推荐用来复现米定义的各种激光或光谱灯辐射的波长上。
0级、l级、2级和3级量块的长度,可采用光学、电感、电容式的比较仪和与其相应的高等别的标准量块相比较的方法测量。
量块长度的测量方法参见附录A。
6.3.3按照量块长度的检验方法,测量量块中心和四角(以距量块相邻侧面各为1.5mm的点为代表)位置的长度,以其中最大和最小的长度之差值作为量块的长度变动量。
7 B类不合格I组
7.1 B类不合格I组
量块测量面的平面度和研合性不符合规定,即为B类不合格I组。
7.2技术要求
7.2.1平面度
标称长度小于和等于2.5mm的量块,其测量面与厚度不小于llmm,表面质量和刚性都良好的辅助体表面相研合后,测得的平面度误差应不大于表3的规定;非研合状态下测量面的平面度误差应不大于4 u m。
标称长度大于2.5mm的量块,在自由状态下,萁测量面的平面度误差应不大于表3的规定。
7.2.2研合性
K级和0级量块测量面与平面度公差为0.03 u m的平晶(一级平晶)相研合时,研合面在照明均匀的白光下观察,量块测量面中部沿长边方向的1/3的区域内(不包括距侧面最大距离为0.8mm的边缘)应无光斑。
1级和2级量块测量面与平面度公差为0.10 u m的平晶(二级平晶)相研合时,研合面在照明均匀的白光下观察,可以有任何形状的光斑,但应无色彩。
3级量块测量面与平面度公差为0.10 u m的平晶(二级平晶)相研合时,研合面在照明均匀的白光下观察,可以有均匀的黄色彩,但应无光波干涉条纹。
7.3检验方法
7.3.1 平面度
7.3.1.1 量块测量面的平面度采用技术光波干涉法测量,检测时使用直径不小于45mm,厚度不小于mm的玻璃、石英或其他透明的耐磨材料制成的平面平晶,其平面度误差应分别不超过0.03 u m(一级平晶)、0.10 u m(二级平晶)。
7.3.1.2 对于平面度数值较小的量块测量面,使平晶与量块测量面之间形成很小的尖劈形空气层,在白光(或单色光)照明下,由平行于量块测量面长、短两边和两对角线等四个方向观测干涉条纹图像,并以相邻两干涉条纹间隔M为单位,读出干涉条纹的弯曲度m/M。
若干涉条纹皆为同向弯曲,则取上述4个m/M中数值最大者,计算该测量面的平面度误差,
注:在对弓形的干涉条纹引线读取弯曲度时,应注意到所引的弦线必须通过干涉条纹的中线与量块测量面上距侧面
0.8mm并与侧面相平行的线的相交点。
如果在量块测量面上,由平行于测量面长、短边(或两对角线)两方向上所观测到的干涉条纹是异向弯曲的,则将两个弯曲度数值相加,计算该测量面的平面度误差。
7.3.1.3 对于平面度数值较大的量块测量面,使平晶的测量面与量块凸起的测量面相接触,并使其中一个干涉条纹的中线与量块测量面上距右侧面0.8mm的平行线相重合,向左数出干涉条纹的整数部分N,然后以干涉条纹间隔M为单位,读出第Ⅳ条中线向左到测量面上距左侧面距离为0.8mm平行线之间的距离m,于是该量块测量面的平面度F为:
7.3.1.4对于标称长度较小的量块,在用技术光波干涉法测量其平面度的时候,应注意避免平晶重量对
测量结果的影响。
7.3.1.5对于标称长度小于和等于2.5mm的量块,在非研合状态下测量面的平面度可采用0级刀口尺用
光隙法检验。