Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/ 轮廓测量装置)SV-C3000CNC/ SV-C4000CNC系列

基本技术参数:
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (主机)
轮廓测量技术参数:
X1 轴
　测量范围: 200mm
　分辨率: 0.05μm
　检测方法: 反射型线性编码器
　驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
　测量速度: 0.02 - 2mm/s
　移动方向: 向前／向后
　直线度: 2μm/200mm
* 以X 轴为水平方向上
　指示精度: ±(1+0.02L)μm,
　 (20° C 时) * L 为驱动长度(mm)
a 轴
　倾角: -45° 至 +10°
　分辨率: 0.000225°
　旋转速度: 1rpm
Z2 轴 (立柱)
　垂直移动: 300mm 或 500mm
　分辨率: 0.05μm
　检测方法: 反射型线性编码器
　驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
Z1 轴 (检测器)
　测量范围: ±25mm
　分辨率: 0.2μm (SV-C3100CNC),
0.05μm (SV-C4100CNC)
　检测方法: 线性编码器 (SV-C3100CNC),
激光全息测微计 (SV-C4100CNC)
　直线位移: ± (3+I2HI/25)μm (SV-C3100CNC)
精度 (20° C 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4100CNC)
*H 为基于水平位置的测量高度 (mm)
　测针上／下运作: 弧形移动
　测针方向: 向下
　测力: 30mN
　跟踪角度: 向上: 70° , 向下: 70°
(根据表面粗糙度，
使用标准单切面测针)
测针针尖 尖端半径: 25μm、硬质合金尖端
表面粗糙度测量的技术参数：
X1 轴
　测量范围: 200mm
　分辨率: 0.05μm
　检测方法: 反射型线性编码器
　驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
　测量速度: 0.02 - 2mm/s
　移动方向: 向后
直线度: 0.5μm / 200mm
a 轴
　倾角: -45° 至 +10°
　分辨率: 0.000225°
　旋转速度: 1rpm
Z2 轴 (立柱)
　垂直移动: 300mm 或 500mm
　分辨率: 0.05μm
　检测方法: 反射型线性编码器
　驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
检测器 (选件)
　范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测头选件
时，最大可达2400μm)
　检测方法: 无轨／有轨测量
　测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
　测针针尖: 金刚石、90º / 5μmR
(60º / 2μmR: 低测力型)
　导头曲率半径: 40mm
　检测方法: 差动电感式

选件
防震台架
防震台装置: 膜片空气弹簧
自然频率 : 2.5 - 3.5Hz
减震机构: 阻尼孔
调水平装置: 带机械阀的自动控制装置
气源气压: 0.4Mpa
承载: 350kg
尺寸(W x D x H): 1000 x 895 x 715mm
重量: 280kg
Y 轴工作台装置
测量范围: 200mm
最小读数 : 0.05μm
标尺装置: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
最大承载能力: 20 kg
直线度: 0.5μm / 200mm
指示精度 (20° C 时):
± (2+2L/100)μm，轮廓模式
L 为两个测量点之间的距离 (mm)
工作台尺寸: 200 x 200mm
尺寸(W x D x H): 320 x 646 x 105mm
重量: 35kg

本机内置Startup 系统 (重新定位检测系统)：
意外震动发生或机器被重新定位时，将停机。
初始安装本机、重新定位本机前，务必就近
咨询三丰公司。