Formtracer (表面粗糙度 / 轮廓测量装置) SV-C3200 / SV-C4500系列

基本技术参数:
基座尺寸 (W x H): 600 x 450mm 或 1000 x 450mm
基座材料: 花岗岩
重量
主机: 140kg (S4), 150kg (H4), 220kg (W4)
        140kg (S8), 150kg (H8), 220kg (W8)
控制器: 14kg
遥控箱: 0.9kg
电源: 100 – 120V AC ±10%,200 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主机)

轮廓测量技术参数:
X1 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
长度基准: 反射型线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
移动方向: 向前／向后
直线度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm* 以X1 轴为水平方向上
直线位移:         ±(1+0.01L)μm (SV-C3200S4, H4, W4)
精度 (20ºC 时) ±(0.8+0.01L)μm (SV-C4500S4, H4, W4)
                      ±(1+0.02L)μm (SV-C3200S8, H8, W8)
                      ±(0.8+0.02L)μm (SV-C4500S8, H8, W8)
                      * L 为驱动长度 (mm)
倾角范围: ±45º (带有X1 轴倾斜单位)
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
长度基准: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 30mm/s 外加手动
Z1 轴 (检出器)
测量范围: ±30mm
分辨率: 0.04μm (SV-C3200),0.02μm (SV-C4500)
标尺: 线性编码器
精度 (20ºC 时) ±(1.6+|2H|/100)μm (SV-C3200)
                      ±(0.8+|2H|/100)μm (SV-C4500)
                      *H: 基于水平位置的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形移动
测针方向: 向上/ 向下(SV-C3200)( 上下可连续测量) (SV-C4500)
测力: 30mN (SV-C3200)
        10, 20, 30, 40, 50mN (SV-C4500)
        * 如 SV-C4500 设置测力
跟踪角度: 向上: 77º, 向下: 83º(使用配置的标准测头， 依表面粗糙度而定)
测针针尖 尖端半径: 25μm, 硬质合金尖端

表面粗糙度测量技术参数:
X1 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
长度基准: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
移动方向: 向后
直线度: (0.05+1L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
           0.5μm/200mm (S8, H8, W8 型)
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
长度基准: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 30mm/s 外加手动
检出器
范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测针选件时，最大可达2400μm)
测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖: 金刚石, 90º / 5μmR(60º / 2μmR: 低测力型)
使用旋转工作台 q2 类型 : 差动电感式