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L为测量长度(mm) 量具的方向（测力）：心轴向下／水平／向上
技术参数
精度： 参见性能参数（不包括量化偏差）
分辨率： 1 urn，0.5um或0.1 urn长度基准：光电线性编码器
最大反应速度：1500mm/s，400mm/s(542-158)
测针： Φ3mm硬质合金
轴套： Φ8mm
轴承类型：线性滚珠轴承
测力： 参见性能参数
输出信号：90°相位差，差动方形波（RS-422A等效）
信号间距：0.4um(542-158)，2um(542-157)，4um(542-156)
尘／水防护等级：达到IP66防护标准
标准附件
538610：带扳手的测头
选件
238772: 塑料橡胶套管(10mm)
902434: 延长电缆(5m)
902433: 延长电缆(10m)
902432: 延长电缆(20m)
02ADE230:气动装置
02ADB680:推力轴套套装
02ADB681:推力轴套
02ADB682:锁紧螺母
02ADB683:扳手
